|
|
 |
| |
Плазменные установки - PLASMA SYSTEMS
|
| |
[
ПРОИЗВОДСТВО СПЕЦИАЛИЗИРОВАННЫХ
УСТАНОВОК - SPECIAL PLASMA SYSTEMS]
|
| |
|
| |
Мы
производим плазменные установки в
соответствии с Вашими
потребностями. Установки
проектируются по следующим
критериям:
- пропускной способности
- габаритам обрабатываемых
изделий
|
| |
|
| |
Специальные
установки (Special plasma systems):
|
| |
|
| |
Специальная установка
„Special plasma system Tetra-120-LF-PC“:
|
| |
Производственная
установка „Tetra-120“ с камерой
объёмом 120 л и автоматической
дверью применяется в серийном
производстве (очистка, травление и
активация). Некоторые параметры
этой установки:
Обозначение: „Plasma etcher Tetra-120-LF-PC“ с
автоматической дверью: |
| |
|
| |
| |
Технические
характеристики: Шкаф
распределительного
устройства:
Plasma etcher Tetra 120-LF-PC
Ш 600 мм, В 2.150 мм, Г 1.000 мм
Камера:
Ш 1.200 мм, В 150 мм, Г 1.700 мм
Объем камеры:
~ 120 литров
Подвод газа:
4 регулятора расхода газов с
MFCs
Генератор:
2 шт. (каждый 40 кГц)
(опционально: 13,56 МГц, или 2,45
ГГц)
Управление:
ПК управление(Windows)
Автоматизация:
Установка оснащена
автоматической дверью
ОПЦИИ /
ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ
ПЛАЗМЕННЫХ
УСТАНОВОК
|
|
„Plasma system TETRA-120-LF-PC“ С
управлением через ПК.
Установка оснащена
автоматической дверью. |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
Специальная установка
„Special plasma system Tetra-500-LF-PC“:
|
| |
Производственная
установка „Tetra-500“ с системой
перемотки рулонов, камерой на 500 л
и компьютерной системой
управления применяется в серийном
производстве (очистка, травление и
активация, например, плёнки).
Некоторые параметры этой
установки:
|
| |
|
| |
| |
Технические
характеристики:
Plasma etcher Tetra-500
Шкаф распределительного
устройства:
Ш 600 мм, В 2.100 мм, Г 800 мм
Камера:
Ш 1.500 мм, В 1.700 мм, Г 200 мм
Объем камеры:
~ 500 литров
Подвод газа:
3 регулятора расхода газов с
MFCs
Генератор:
2 шт. (каждый 40 кГц)
(опционально: 13,56 МГц, или 2,45
ГГц)
Комплектация:
2 системы перемотки рулонов
Управление:
ПК управление (Windows)
ОПЦИИ /
ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ
ПЛАЗМЕННЫХ
УСТАНОВОК
„Plasma system TETRA-500-LF-PC“ /
система перемотки рулонов:
с управлением через ПК.
|
|
Система перемотки
рулонов: вид изнутри
„Plasma system Tetra-500-LF-PC“ /
Система перемотки рулонов:
Вид сбоку
|
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
Специальная установка
„Special plasma system Tetra-600-LF-PC“:
|
| |
Производственная
установка „Tetra-600“ с камерой
на 600 л и системой компьютерного
управления применяется в серийном
производстве (очистка, травление и
активация).
Некоторые параметры установки: |
| |
|
| |
| |
Технические
характеристики:
Plasma etcher Tetra-600
Шкаф распределительного
устройства:
Ш 600 мм, В 2.200 мм, Г 800 мм
Камера:
Ш 1 000 мм, В 1 000 мм, Г 600 мм
Объем камеры:
~ 600 литров
Генератор:
2 шт. (каждый 40 кГц)
(опционально: 13,56 МГц или 2,45
МГц)
Комплектация:
10 ярусов / Подложек для
обрабатываемых образцов
Управление:
Управление через ПК (Windows)
С промышленной шиной Fieldbus
ОПЦИИ /
ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ
ПЛАЗМЕННЫХ
УСТАНОВОК
|
|
„Plasma system TETRA-600-LF-PC“: с
блоками загрузки камеры,
закрытая
„Plasma system TETRA-600-LF-PC“: с
блоками загрузки камеры,
открытая |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
Специальная установка
„Special plasma system Tetra-600-LF-PC“ c вращающимся
барабаном:
|
| |
Производственная
установка „Tetra-600“ с камерой на 600
л, системой компьютерного
управления и вращающимся
барабаном предназначена для
серийного производства (очистка,
травление и активация). Некоторые
параметры установки:
|
| |
|
| |
| |
Технические
характеристики:
Plasma etcher Tetra-600
Шкаф комплектного
распределительного
устройства:
Ш 600 мм, В 2.200 мм, Г 800 мм
Камера:
Ш 1.100 мм, В 1.100 мм, Г 700 мм
Объем камеры:
~ 600 литров
Генератор:
2 шт. (каждая 40 кгц)
(опционально 13,56 МГц или 2,45
ГГц)
Комплектация:
Вращающийся барабан (с 4
коробами, каждый объемом 30
литров)
Управление:
ПК управление (Windows)
с промышленной шиной Fieldbus
ОПЦИИ /
ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ
ПЛАЗМЕННЫХ
УСТАНОВОК
|
|
„Plasma system TETRA-600-LF-PC“: с вращающимся
барабаном, закрытая
„Plasma system TETRA-600-LF-PC“: с вращающимся
барабаном, открытая |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
Специальная установка
„Special plasma system Tetra-2400-LF-PC“:
|
| |
Производственная
установка „Tetra-2400“ с камерой на 2400
л и системой компьютерного
управления, используется в
серийном производстве (очистка,
травление и активация). Некоторые
параметры установки: |
| |
|
| |
| |
Технические
характеристики:
Plasma etcher Tetra-2400
Шкаф распределительного
устройства:
Ш 600 мм, В 2.200 мм, Г 800 мм
Камера:
Ø 1100 мм, В 1100 мм, Г 2500 мм
Объем камеры:
~ 2400 литров
Генератор:
4 шт. (каждый 40 кГц)
(по выбору: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Комплектация:
Вращающийся барабан (16
коробов по 30 литров каждый)
Управление:
ПК управление (Windows) c
промышленной шиной Fieldbus
ОПЦИИ /
ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ
ПЛАЗМЕННЫХ
УСТАНОВОК
|
|
„Plasma system TETRA-2400-LF-PC“
предназначена для следующих
производственных процессов:
очистка, активация,
травление |
|
| |
|
| |
|
| |
|
| |
Специальная установка
„Special plasma system Tetra-12.600-LF-PC“
|
| |
Производственная
установка „Tetra-12.600“ с камерой на 12
600 л и системой компьютерного
управления применяется в серийном
производстве (очистка, активация).
Некоторые свойства установки: |
| |
|
| |
| |
Технические
характеристики:
Plasma etcher Tetra-12.600
Камера:
Ш 2.400 мм, В 2.100 мм, Г 2.500 мм
Объем камеры:
~ 12.600 литров
Генератор:
6 шт. (каждый 40 кГц)
(опционально: 13,56 МГц или 2,45
ГГц)
Комплектация:
Загрузка с помощью тележки
(см. вторую картинку)
Управление:
ПК управление (Windows) c
промышленной шиной Fieldbus
ОПЦИИ /
ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ДЛЯ
ПЛАЗМЕННЫХ
УСТАНОВОК
|
|
„Plasma system Tetra-12.600-LF-PC“: для
очистки и активации
пластмассовых изделий перед
нанесением лакового
покрытия
|
| |
Плазма в
„Tetra-12.600-LF-PC“:
пластмасовые изделия в
процессе активации |
|
Тележки для загрузки
установки
|
|
| |
|
| |
|
|
|
