|
|
 |
| |
TECHNIKA
PLAZMOWA - PLASMA TECHNOLOGY
|
| |
[ WYTRAWIANIE
POWIERZCHNI - PLASMA ETCHING ]
|
| |
|
| |
Powierzchnia jest wytrawiana reaktywnym gazem
procesowym. Material jest zdejmowany, przetwarzany do fazy
gazowej i odsysany. Powoduje to zwiekszenie powierzchni i
nadaje bardzo dobra charakterystyke zwilzania.
Zastosowania plasma etching:
- np. strukturyzacja krzemu,
- osiaganie dobrej przyczepnosci lakierów i klejów dla
tworzyw sztucznych odpornych na wysokie temperatury, jak
teflon (PTFE), zywica perfluoroalkoksylowa (PFA) i
fluorowana zywica etylenowo-propylenowa (FEP)
|
| |
|
| |
|
|
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
Krzem z maska chroniaca przed
wytrawianiem przed obróbka plazmowa
|
|
Obróbka plazmowa |
|
Po obróbce plazmowej |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| |
|
|
| Przyklad polioksymetylenu (POM): Przed
obróbka plazmowa |
|
Po obróbce plazmowej |
|
|
|
|
|
|
|
| |
|
|
| Przyklad teflonu (PTFE): Przed obróbka
plazmowa |
|
Po obróbce plazmowej |
|
| |
|
| |
|
|
|
