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PLASMA OBERFLÄCHENTECHNIK · REINIGEN · AKTIVIEREN · ÄTZEN · BESCHICHTEN
[ PLASMA CLEANER - PLASMA ETCHER - PLASMA ASHER - PLASMA ACTIVATION ]
Wir bauen Plasmaanlagen speziell zugeschnitten auf Ihre Bedürfnisse.
Die Anlagen werden nach folgenden Gesichtspunkten konzipiert:
- zu erwartender Materialdurchsatz
- Größe der zu behandelnden Teile
Prospekt Sonderanlagen (PDF 1284 KB)
Sonderanlagen:
Sonder-Plasmaanlage Tetra-15-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 1.700 mm, T 800 mm
Kammer:
B 360 mm, H 150 mm, T 260 mm
Kammervolumen:
ca. 15 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (40kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die TETRA 15 Plasmaanlage ist für das Sputtern (hochvakuumbasierte Beschichtungstechnik) sowie für das Reinugungsverfahren zur Präparation hochreiner Oberflächen konzipiert.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-30-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 800 mm, H 600 mm, T 500 mm
Kammer:
B 240 mm, H 150 mm, T 240 mm
Kammervolumen:
ca. 30 Liter
Gaszuführung:
1 Gaskanal über MFCs
Generator:
1 Stück (40kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Automatisierung:
Die Anlage kann in einer Fertigungslinie integriert werden.
Eine Kurztaktanlage kann gut in eine bestehende Fertigungslinie integriert werden. Eine vollautomatisierte Kurztaktanlage wird zusätzlich die möglichen Bedienerfehler ausschließen.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-100-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 2.000 mm, H 2.200 mm, T 2.000 mm
Kammer:
B 700 mm, H 200 mm, T 700 mm
Kammervolumen:
ca. 100 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (40kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Automatisierung:
Die Anlage hat eine Schubladentür.
Die Produktionsanlage Tetra -100 mit ihren 100 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und vollautomatischer Türe kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-120-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.150 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 1.200 mm, H 150 mm, T 1.700 mm
Kammervolumen:
ca. 120 Liter
Gaszuführung:
4 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Automatisierung:
Die Anlage hat eine automatische Türe.
Die Produktionsanlage Tetra -120 mit ihren 120 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und vollautomatischer Türe kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-130-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 1.800 mm, H 2.100 mm, T 1.300 mm
Kammer:
B 400 mm, H 400 mm, T 810 mm
Kammervolumen:
ca. 130 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
(davon 1x über Bubbler)
1 Gaskanal Monomer über 2/2- Wegeventil
Generator:
1 Stück (13,56 MHz)
(Optional: 40 kHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Eigenschaften:
UHV bereich mit Turbopumpe
Die Produktionsanlage Tetra - 130 mit ihren 130Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt beim reinigen und beschichten von medizinischen Komponenten zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-140-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.100 mm, T 650 mm
Kammer:
B 1.200 mm, H 700 mm, T 1.500 mm
Kammervolumen:
ca. 140 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs,
Generator:
1 Stück (40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra -140-LF-PC mit ihren 140 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Plasmapolymerisation) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-140-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 1.000 mm, H 1.800 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 1.000 mm, H 100 mm, T 1.400 mm
Kammervolumen:
ca. 140 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs, Flüssigmonomerdosierung
für Plasmapolymerisation
Generator:
1 Stück (40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra -140-LF-PC mit ihren 140 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Plasmapolymerisation) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-150-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 1.000 mm, H 2.100 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 400 mm, H 600 mm, T 625 mm
Kammervolumen:
ca. 150 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Automatisierung:
Rolle-zu-Rolle mit 400 mm Breite und
300 mm Durchmesser.
Die Produktionsanlage TETRA -150 - LF - PC mit ihren 150 Litern Kammervolumen und
PC-Steuerung kommt bevorzugt im Bereich der Textilbeschichtung zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-240-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 1.700 mm, T 3.200 mm
Kammer:
B 305 mm, H 300 mm, T 2.600 mm
Kammervolumen:
ca. 240 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra - 240 mit ihren 240 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-260-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 2.500 mm, H 2.200 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 650 mm, H 500 mm, T 800 mm
Kammervolumen:
ca. 260 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
10 Stück (40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra - 260 mit ihren 260 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-375-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.100 mm, T 800 mm
Kammer:
B 600 mm, H 360 mm, T 1.900 mm
Kammervolumen:
ca. 375 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra-375 mit ihren 375 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-400-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.100 mm, T 650 mm
Kammer:
B 915 mm, H 750 mm, T 725 mm
Kammervolumen:
ca. 400 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Automatisierung:
Die Anlage hat eine automatische Schiebetür.
Die Produktionsanlage Tetra - 400 mit ihren 400 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und vollautomatischer Schiebetür kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-420-LF-PC-PCB
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 1.600 mm, H 2.100 mm, T 1.200 mm
Kammer:
B 750 mm, H 800 mm, T 750 mm
Kammervolumen:
ca. 420 Liter
Gaszuführung:
4 Gaskanäle über MFCs
Generator:
4 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra - 420 mit ihren 420 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz. Diese Anlage wird unter anderem für Desmearing von PCBs verwendet.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-500-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.100 mm, T 800 mm
Kammer:
B 1.500 mm, H 1.700 mm, T 200 mm
Kammervolumen:
ca. 500 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Teile-Aufnahme:
2 Rolle-zu-Rolle-Systeme
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Sonderanlage Tetra - 500 mit Rolle-zu-Rolle- System und 500 Litern Kammervolumen sowie PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren von z. B. Folien) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-575-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 1.150 mm, H 1.900 mm, T 1.600 mm
Kammer:
B 600 mm, H 1.200 mm, T 800 mm
Kammervolumen:
ca. 575 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Teile-Aufnahme:
22 Etagen / Warenträger (Variabel)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows)
Die Sonderanlage Tetra - 575 mit ihren 575 Litern Kammervolumen sowie PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Beschichten) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.200 mm, T 1.200 mm
Kammer:
B 810 mm, H 810 mm, T 925 mm
Kammervolumen:
ca. 600 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra - 600 mit ihren 600Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC Version 1
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.200 mm, T 800 mm
Kammer:
B 1.000 mm, H 1.000 mm, T 600 mm
Kammervolumen:
ca. 600 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Automatisierung:
11 Etagen / Warenträger
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra - 600 mit ihren 600Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC Version 2
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 1.800 mm, H 1.800 mm, T 800 mm
Kammer:
B 580 mm, H 730 mm, T 1.000 mm,
Tür mit 2 Schaugläsern
Kammervolumen:
ca. 600 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück 40 kHz, automatische Matching
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra - 600 mit ihren 600 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC mit Drehtrommel Version 1
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 2.200 mm, T 800 mm
Kammer:
Ø 1.100 mm, D 700 mm
Kammervolumen:
ca. 600 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
2 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Teile-Aufnahme:
Drehtrommel (mit 4 Körben je 30 Liter Inhalt)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra - 600 mit ihren 600 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und einer Drehtrommel kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-600-LF-PC mit Drehtrommel Version 2
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 1.000 mm, H 2.200 mm, T 1.800 mm
Kammer:
Ø 1.000 mm, D 750 mm,
Tür mit 2 Schaugläsern
Kammervolumen:
ca. 600 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
4 Stück (je 40 kHz)
automatische Matching
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra - 600 mit ihren 600 Litern Kammervolumen, PC-Steuerung und einer Drehtrommel kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-2.000-RF-PC
Technische Daten:
Kammer:
B 1.000 mm, H 2.000 mm, T 1.000 mm
Kammervolumen:
ca. 2.000 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (13,56 MHz)
Teile-Aufnahme:
Bis zu 10 Warenträger
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra - 2000 mit ihren 2.000 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-2400-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
600 mm, H 2.200 mm, T 800 mm
Kammer:
Ø 1.100 mm, T 2.500 mm
Kammervolumen:
ca. 2.400 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
4 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Teile-Aufnahme:
Drehtrommel (mit 16 Körben je 30 Liter Inhalt)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra-2400 mit ihren 2400 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-2800-LF
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 600 mm, H 1.700 mm, T 800 mm
Kammer:
Ø 1.200 mm, T 2.500 mm
Kammervolumen:
ca. 2.800 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
1 Stück (40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra - 2800 mit ihren 2.800 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-4400-LF-PC:
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 1.800 mm, H 1.000 mm, T 800 mm
Kammer:
L 1.350 mm, T 1.250 mm, H 2.600 mm
Kammervolumen:
ca. 4.400 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
4 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Eigenschaften:
Sauerstoffgenerator
Plasmareinigungsquelle für Rootspumpen
Die Produktionsanlage Tetra - 4400 - LF - PC mit ihren 4.400 Litern Kammervolumen und
PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-5600-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 1.800 mm, H 2.200 mm, T 1.800 mm
Kammer:
B 2.250 mm, H 2.450 mm, T 1.000 mm
Kammervolumen:
ca. 5.600 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
6 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Teile-Aufnahme:
Befüllung über Rollwägen
(Optional: Spezielle Trommel)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra - 5600 - LF - PC mit ihren 5.600 Litern Kammervolumen und
PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-7000-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 2.400 mm, H 2.300 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 2.400 mm, H 2.100 mm, T 1.400 mm
Kammervolumen:
ca. 7.000 Liter
Gaszuführung:
3 Gaskanäle über MFCs
Generator:
4 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra - 7000 - LF - PC mit Rolle-zu-Rolle-System, ihren 7.000 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen, Aktivieren und Beschichten) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-7500-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 3.000 mm, H 2.000 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 1.500 mm, T 2.000 mm, H 2.500 mm
Kammervolumen:
ca. 7.500 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
6 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra - 7500 - LF - PC mit ihren 7.500 Litern Kammervolumen und
PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-8000-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 2.000 mm, H 1.800 mm, T 1.000 mm
Kammer:
B 1.700 mm, T 2.800 mm, H 1.700 mm
Kammervolumen:
ca. 8.000 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
4 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra - 8000 - LF - PC mit ihren 8.000 Litern Kammervolumen und
PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz.
Sonder-Plasmaanlage Tetra-12.600-LF-PC
Technische Daten:
Schaltschrank:
B 1.200 mm, H 2.200 mm, T 800 mm
Kammer:
B 2.400 mm, H 2.100 mm, T 2.500 mm
Kammervolumen:
ca. 12.600 Liter
Gaszuführung:
2 Gaskanäle über MFCs
Generator:
6 Stück (je 40 kHz)
(Optional: 13,56 MHz o. 2,45 GHz)
Teile-Aufnahme:
Befüllung über Rollwägen
Steuerung:
PC-Steuerung (Windows) mit Industrie-Feldbus
Die Produktionsanlage Tetra-12600 mit ihren 12.600 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung (Reinigen, Aktivieren) zum Einsatz.
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