PLASMAANLAGEN - STANDARDANLAGEN

[ RF-GENERATOREN ]

RF-Generator 13.56 MHz, 300 W

RF-Nennausgangsleistung: 300 Watt Frequenz: 13.560 MHz ± 100ppm Einstellbare RF-Ausgangsleistung:    0 - 300 Watts, kontinuierlich Generator kann gepulst werden:     Min. on-time: 5µs Impedanz: 50 Ohms RF Stabilität: weniger als 5 %    (abhängig vom verwendeten    Anpaßgerät) Fehlanpassungsschutz von offenen    Ausgang bis Kurzschluß eingebaut Maximale Fehlanpassung ohne     Leistungsreduzierung: VSWR = 1,2 RF mit Volllast einschaltbar Netzanschluß: 88 - 264 V WS /     47 - 63    Hz Leistungsaufnahme: max. 580 Watt Fernsteueranschluß für:     - RF Ein/Aus     - RF Leistungseinstellung      (0...10V = 0...100%)     - Automatisches Anpaßgerät     - PC- oder Plasmaanlagensteuerung RF-Ausgang : N-Buchse Netzanschluß: IEC Einbaustecker mit     Filter Masse: ca. 18 kg

RF-Generator 300