Technické údaje:
Plasma cleaner Zepto
rozvaděč:
W 425 mm, H 185 mm, D 450 mm
komora:
sklo, O 105 mm, L 300 mm
objem komory:
přibližně 2,6 litry
zdroj plynu:
two plynové kanály přes jehlový ventil
generátor:
40kHz/200W nebo 13,56 MHz/50W
vakuová pumpa:
sací: 2 m3/h
nosič výrobků:
1 ks nosič výrobků
řízení:
poloautomatické řízení, procesní čas nastavován časovačem
|
|
low cost plasma system ZEPTO:
Vývoj procesů, čištění, aktivace, leptání
( malé série )
|
